【電子氣體分析用氦離子化氣相色譜儀_大量提供氣相色譜儀】

儀器簡介：

一、電子氣體分析用氦離子化氣相色譜儀的工作原理
        PDHID是利(li)用氦(hai)中穩定的，低(di)功率脈沖放(fang)(fang)電(dian)作電(dian)離源，使被測(ce)組分電(dian)離產生(sheng)信號。PDHID是非(fei)放(fang)(fang)射性檢(jian)測(ce)器，對所有物質均有高靈(ling)敏度的正響應。

1． 脈沖放電間隔和功率：
PDHID中放電(dian)(dian)電(dian)(dian)極距離為(wei)(wei)1.6mm，改(gai)變充(chong)電(dian)(dian)時(shi)(shi)間(jian)可改(gai)變經過初級(ji)線圈的放電(dian)(dian)功率(lv)(lv)。充(chong)電(dian)(dian)時(shi)(shi)間(jian)越(yue)長、功率(lv)(lv)越(yue)大。一(yi)般脈沖間(jian)隔(ge)為(wei)(wei)200-300μs,充(chong)電(dian)(dian)時(shi)(shi)間(jian)在40-45μs，基流(liu)和響應值(zhi)達(da)*。因(yin)放電(dian)(dian)時(shi)(shi)間(jian)僅(jin)為(wei)(wei)1μs，而脈沖周期達(da)幾百(bai)微秒，大部分時(shi)(shi)間(jian)放電(dian)(dian)電(dian)(dian)極是空載。所以(yi)放電(dian)(dian)區不會過熱。

2． 偏電(dian)壓(ya)(ya)：在放電(dian)區(qu)相鄰的(de)電(dian)極上加一恒(heng)定(ding)的(de)負偏電(dian)壓(ya)(ya)。響應值隨偏電(dian)壓(ya)(ya)的(de)增加而急劇增大，很快(kuai)即達(da)飽(bao)和(he)。在飽(bao)和(he)區(qu)響應值基本不隨偏電(dian)壓(ya)(ya)而改變。PDHID在飽(bao)和(he)區(qu)內工作(zuo)，噪(zao)聲較低。基流與(yu)偏電(dian)壓(ya)(ya)的(de)關系(xi)同(tong)響應值與(yu)偏電(dian)壓(ya)(ya)。

3． 通過放(fang)電區的氦流速：

氦(hai)通過放電(dian)區(qu)有兩(liang)個(ge)目的(de)(de)：a 保持放電(dian)區(qu)的(de)(de)潔凈(jing)，以(yi)便氦(hai)被(bei)(bei)激發；b 它作為尾吹氣加入(ru)，以(yi)減少(shao)被(bei)(bei)測(ce)(ce)組分在檢測(ce)(ce)器(qi)的(de)(de)滯留時(shi)(shi)間(jian)。只是它和傳統的(de)(de)尾吹氣加入(ru)方向相(xiang)反。池體積為113ul，對峰(feng)(feng)寬(kuan)為5s的(de)(de)色譜峰(feng)(feng)，要求氦(hai)流速(su)為6.8-13.6ml/min，如果峰(feng)(feng)寬(kuan)窄至(zhi)(zhi)1s，流速(su)應提高到34-68ml/min，以(yi)保持被(bei)(bei)測(ce)(ce)組分在檢測(ce)(ce)器(qi)的(de)(de)滯留時(shi)(shi)間(jian)短至(zhi)(zhi)該(gai)峰(feng)(feng)寬(kuan)的(de)(de)10%-20%。

4． 電離方式和性能特征：
PDHID的電離方式尚不十分明朗，綜合文獻敘述，電離過程有三部分組成：a 氦中放電發射出13.5-17.7eV的連續輻射光進行光電離；b 被高壓脈沖加速的電子直接電離組分AB，產生信號，或直接電離載氣和雜質產生基流；c 亞穩態氦與組分反應電離產生信號，或與雜質反應電離產生基流。.
e + AB→AB+ + 2e
e + He→He**→ He* + hν
He* + AB→AB+ + e + He

二. 
        GC-9560-HG氦離子化氣相色譜儀適用于高純氣體、超高純氣體及電子工業用氣體中痕量雜質的檢測。該產品以GC-9560氣相色譜儀為載體，配備VALCO公司生產的氦離子化（PDHID）檢測器；采用華愛色譜中心切割與反吹技術，其中的所有進樣和切換閥均為VALCO公司生產的的六通或十通閥；上述部分與VALCO公司原裝的氦氣純化器、無死體積取樣閥等部件一起組成一套完整的高純氣體分析整體及解決方案。 
        
 

技術參數：

PDHID對硅烷中氣體雜質檢測限（ppb）
H2   O2+Ar    N2   CO    CH4   CO2    C2    C3   SimHn
50     50     50     50     20     20     20     20     50 

主要特點：

電子工業氣體:

高(gao)純度硅烷氣體雜質(zhi)組(zu)份的(de)檢測(ce)

一:應用領域：
硅烷在大規模集成電路（LSI）、超大規模集成電路（VLSI）和半導體器件制造中，用于氣相外延生長、化學氣相淀積等工藝（工序）。
1. 外延（生長）混合氣 在半導體工業中，在仔細選擇的襯底上選用化學氣相淀積的方法，生長一層或多層的材料所用的氣體叫做外延氣體。常用的硅外延氣體有二氯二氫硅、四氯化硅和硅烷等。主要用于外延硅淀積，多晶硅淀積，氧化硅膜淀積，氮化硅膜淀積，太陽能電池和其他光感受器的非晶硅膜淀積等。外延生長是一種單晶材料淀積并生長在襯底表面上的過程。 
2. 化學氣(qi)體(ti)淀積（CVD）用(yong)混合氣(qi) CVD是利用(yong)揮發(fa)性化合物，通(tong)過氣(qi)相(xiang)化學反應沉積某種(zhong)單質或(huo)化合物的一種(zhong)方法(fa)，即應用(yong)氣(qi)相(xiang)化學反應的一種(zhong)成(cheng)膜(mo)(mo)的方法(fa)。依據成(cheng)膜(mo)(mo)種(zhong)類，使用(yong)的化學氣(qi)相(xiang)淀積（CVD）氣(qi)體(ti)也不同。

二:硅烷中微量雜質的分析一直是色譜分析的難點。
目前多數采用的熱導檢測器由于靈敏度有限，很難測定5ppm以下的雜質；火焰離子化檢測器和氧化鋯檢測器是選擇性的檢測器，只能分析少數幾種氣體雜質，均不能很好的滿足硅烷氣體分析的基本要求。
PDHID檢(jian)(jian)測器(qi)(qi)(qi)（脈沖放電氦(hai)離(li)子(zi)檢(jian)(jian)測器(qi)(qi)(qi)）是(shi)一種靈敏度(du)*的(de)通用型檢(jian)(jian)測器(qi)(qi)(qi)，對幾乎所有無機和(he)有機化(hua)合(he)物(wu)均有很高(gao)的(de)響應，特別適合(he)氣(qi)體的(de)分析(xi)，是(shi)能夠檢(jian)(jian)測至ng/g（ppb）級(ji)的(de)檢(jian)(jian)測器(qi)(qi)(qi)。

北京京科瑞達科技有限公司

主要產品：

●色譜類：氣相色譜儀(yi)，液相色譜儀(yi)，凝膠(jiao)色譜儀(yi)，頂空進(jin)樣器、熱解(jie)析儀(yi)
●光(guang)(guang)譜類：紫外分光(guang)(guang)光(guang)(guang)度計(ji)、原子吸收(shou)光(guang)(guang)譜儀、傅(fu)立葉紅(hong)外光(guang)(guang)譜，熒光(guang)(guang)光(guang)(guang)譜儀
●二(er)手(shou)(shou)儀(yi)器：二(er)手(shou)(shou)進口氣相色譜(pu)儀(yi)、液相色譜(pu)儀(yi)、光譜(pu)儀(yi)(島津、安捷(jie)倫、時常更新)
●配(pei)套設備：氫氣(qi)(qi)發(fa)(fa)生(sheng)器(qi)、氮氣(qi)(qi)發(fa)(fa)生(sheng)器(qi)、空氣(qi)(qi)發(fa)(fa)生(sheng)器(qi)、氧氣(qi)(qi)發(fa)(fa)生(sheng)器(qi)
●色(se)譜(pu)柱(zhu)(zhu)(zhu)：毛細管色(se)譜(pu)柱(zhu)(zhu)(zhu)，填充柱(zhu)(zhu)(zhu)，液相色(se)譜(pu)柱(zhu)(zhu)(zhu)，凝膠柱(zhu)(zhu)(zhu)，糖柱(zhu)(zhu)(zhu)，氨(an)基酸柱(zhu)(zhu)(zhu)
●樣品前處(chu)理：固相萃取(qu)裝(zhuang)置，溶劑過濾器，無油真空泵，超(chao)聲波清(qing)洗器
●儀器(qi)配件(jian)：進(jin)樣墊，進(jin)樣器(qi)，氘燈，液(ye)相輸液(ye)管，單向閥，保護柱(zhu)，手動進(jin)樣閥
●常(chang)規儀器：水(shui)質分析儀、純水(shui)機、電子分析天平、PH酸(suan)度(du)計

業務范圍：
1、幫您建立色(se)譜分(fen)析(xi)室、色(se)譜氣(qi)路整套改造、色(se)譜分(fen)析(xi)方法，培訓(xun)色(se)譜操作人(ren)員。
2、幫您建立整套實驗室規劃與成套儀器項(xiang)目(mu)。
3、專業維修(xiu)各類進口、國產(chan)氣相(xiang)色譜(pu)儀、高效液相(xiang)色譜(pu)儀、氣體發(fa)生(sheng)器等分析儀器。
4、免費提供各種分析(xi)儀器(qi)應用(yong)、維修等技術咨詢服務。
5、收(shou)購與銷售二(er)手進口氣(qi)相色(se)譜儀(yi)、液相色(se)譜儀(yi)、光譜儀(yi)。
6、長(chang)期/短(duan)期租賃各種(zhong)色譜(pu)儀，讓您更大減少成本。

維修服(fu)務(wu)：
1、 維修(xiu)各(ge)種進口、國(guo)產氣相(xiang)色譜儀、高(gao)效液相(xiang)色譜儀、氣體發生器、紫(zi)外分(fen)光光度計(ji)、原子(zi)吸收分(fen)光光度計(ji)等(deng)分(fen)析(xi)儀器。

2、 維修島津液(ye)相色譜儀、氣相色譜儀；現貨(huo)提供該儀器配件與耗材；

3、 維修安捷倫液相色(se)(se)譜儀、氣(qi)相色(se)(se)譜儀，現貨提供該(gai)儀器(qi)配件(jian)與耗(hao)材；

4、 免費提(ti)供各(ge)種分析儀器(qi)應用、維修等技術咨詢服務；

租賃承諾：
1、提供免費分析；
2、免費安裝培訓使用；
3、提供(gong)國產(chan)或進口儀器多種型號(hao)的選擇；
4、租賃期內儀(yi)器免費維(wei)修(xiu)，其中(zhong)該儀(yi)器消耗品維(wei)修(xiu)或(huo)更換(huan)為有償服(fu)務(wu)，同時(shi)包含人(ren)為操(cao)作不當或(huo)保養不好引起(qi)的(de)損壞(huai)；

24小時*：

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